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nEXT300D 分子泵

  • 類 別：
  • 注射/其他泵
  • 型 號：
  • nEXT300D
  • 訂貨號：
  • TP0000878

商品名稱：nEXT300D 分子泵

  • 貨號：TP0000878

概述

   nEXT300D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結合使用的復合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對N2的抽速為300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術，上軸承為永久性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進轉子設計，使其更加有效地實現分子拖曳行程，最終提高抽速和壓縮比，同時真正實現了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機，內置驅動，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種最大預設功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達到滿轉速的加速時間較長。

   基本的分子泵系統通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。


性能特點

◆ 最新的轉子設計，可以實現卓越的抽速和壓縮比

◆ 維護簡便，用戶可以在短時間內完成維護，無需復雜的工具或拆卸

◆ 設計緊湊，性能卓越，可以實現高效系統化

◆ 與Edwards TIC渦輪儀表控制器兼容，可加3個真空規，而無需額外控制器

◆ 符合RoHS，并通過CSA/UL認可


技術指標

入口法蘭DN100ISO-K，DN100CF
出口法蘭KF25
抽N2 300l/s
速He 340l/s

H2280l/s
壓N2 >1×1011
縮He 1×106
比H25×104
極限真空（ISO/CF，RV前級泵）<6×10-8/<5×10-10 mbar
推薦前級泵*RV12/nXDS10i
放氣口1/8英寸BSP母螺紋
吹掃口1/8英寸BSP母螺紋
最大連續入口流量（氮氣）?
水冷（水溫15°C，環境溫度40°C）95sccm
空冷（環境溫度35°C）115sccm
泵轉速
標稱轉速60000rpm
待機轉速33000~60000rpm可調（缺省42000 rpm）
功率范圍50~200W可調（缺省160W）
90%轉速啟動時間145s?
模擬輸出泵轉速、功耗、泵溫度、控制溫度
冷卻方式#空冷/水冷
空冷環境溫度5~35°C
最小水冷流速15l/ h
（15°C的水）
水溫范圍10~20°C
入口法蘭最高溫度80°C
工作姿態垂直、水平（±2°）
噪聲（1m處）<45dB(A)
最大耐受磁場5mT
推薦控制器TIC200渦輪儀表控制器
穩態功耗20W