德國attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎上，最新推出了體積更小、適合集成到工業產品與同步輻射應用中的IDS型號皮米精度位移激光干涉儀。與FPS型號干涉儀相似，IDS型號同樣適用于極端環境如高真空與高輻射環境并且具有極高精度與極高采樣速率。IDS產品是適合工業集成與工業網絡無縫連接的理想產品。產品在工業應用中具有廣泛范圍前景，包括閉環位移反饋系統搭建、振動測量、軸承誤差測量等。 

   德國國家計量院（ PTB)對IDS3010激光干涉儀的精度進行了認證(下圖）。值得指出，在0-3米的工作距離內， IDS激光干涉儀的的測量數據與德國計量院激光干涉儀數據完全一致。德國計量院的認證使得IDS激光干涉儀的測量數據滿足德國國家標準，使得IDS更加理想的成為位移臺鑒定與機器加工等領域的測量工具。 

產品特點

◆ 設計緊湊（50mm x 55mm x 195mm），適合工業集成

◆ 工業化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

◆ 測量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz

◆ 環境補償單元，不同濕度、壓力環境中校正反射率參數提高測量精度

◆ 校正簡單，配備可見激光（650nm）用于校正測量激光（1530nm）

◆ 測量精度高，探測器分辨率高達1 pm

應用方向

IDS 3010充分滿足高分辨位移于定位的工業和科研需要，可應用于長度測量、同步輻射、精密儀器、半導體工業以及顯微鏡。 

部分應用案例： 

1. 激光干涉儀檢測納米精度位移臺；

2. 激光干涉儀組建高精度X射線顯微鏡；

3. 激光干涉儀無損探測軸承誤差；

4. 激光干涉儀校正極低溫非線性掃描 ； 

光纖式激光探頭 

◆ IDS系列激光干涉儀可提供不同型號探頭（探頭尺寸，光斑大小不同）。

◆ 探頭直徑范圍：1.2mm – 22mm。典型準直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。

◆ 最低工作溫度：10mK, 1E-10mBar超高真空適用, 10MGy強輻射環境適用。

激光探頭技術參數表

	型號	尺寸mm	工作距離	激光類型	光斑
		(直徑與長)	(低反射，高反射材料）	（聚焦、準直）	大小
	D1.2/F7	?   1.2;	5-9   mm，	聚焦，	70um@7mm
		7.5	30-45   mm	焦距7mm
	D4/F8	?   4;	6-10   mm，	聚焦，	70um@8mm
		11.5	15-30   mm	焦距8mm
	D4/F13	?   4;	11-15   mm，	聚焦，	70um@13mm
		11.5	30-45   mm	焦距13mm
	D12/F2.8	?   12;	2.8 mm	聚焦，	2um@   2.8mm
		32.3		焦距2.8mm
	M12/C1.6	?   14;	0-1000   mm	準直	1.6mm
		17.4
	M15.5/C1.6	?   22;	0-1000   mm	準直	1.6mm
		20.6
	M12/C7.6	?   14;	0-5000   mm	準直	7.6mm
		49.3

IDS 主機尺寸與接口：

測試數據展示：