PHI Quantera II 掃描X射線光電子能譜儀（XPS）是Ulvac-Phi公司以在業(yè)界獲得非常卓越成績的Quantum 2000和Quantera SXM之上延申后所zui新研發(fā)的XPS分析儀器，其超卓技術(shù)包括有：一個獨(dú)創(chuàng)微集中掃描的X射線來源，專利的雙光束的電荷中和技術(shù)，在極低電壓下仍可保持高性能的離子束源以進(jìn)行XPS的深度分析，一個五軸精密的樣品臺和負(fù)責(zé)全自動樣品傳送的機(jī)械手臂，與及一個完全自動化且可支持互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程控制的儀器操作平臺。Quantera II 掃描X射線光電子能譜儀（XPS）增加了這些技術(shù)性能和生產(chǎn)力，再一次提供了zui高性能的XPS系統(tǒng)，以滿足您當(dāng)前和未來的XPS需要。
X射線光電子能譜儀（XPS）優(yōu)點(diǎn)：
無論您是在分析一個薄膜樣品、有機(jī)聚合物、一個大的塑料鏡片，不銹鋼刀片又或是焊錫球;所有的儀器設(shè)置和設(shè)定都是完全相同的。用者只需用鼠標(biāo)點(diǎn)在一個光學(xué)圖像單擊選擇一個或多個分析地區(qū)，加上雙光束中和系統(tǒng)和自動Z-軸高度調(diào)整功能，就可以透過儀器軟件的自動隊(duì)列執(zhí)行所有分析。整個操作流程不需要任何的設(shè)定調(diào)整，不用因不一樣樣品成份而有任何顧慮，甚至也不需要有操作員整天待在儀器旁邊；一切的操作都可以自動的完成。
Quantera II 不僅提供了無機(jī)薄膜樣本良好的深度剖面分析性能，而且也可以在利用C60離子槍對有機(jī)薄膜得出非常優(yōu)越的深度分析結(jié)果。
PHI使用了獨(dú)創(chuàng)的聚焦掃描X射線源，使XPS微區(qū)分析變得更高效。如圖4所示，X射線源是經(jīng)由聚焦電子光柵掃描并撞擊在鋁陽極上所產(chǎn)生的，而此產(chǎn)生的聚焦鋁X射線會再透過橢球形狀的單色器反射在樣品表面上。當(dāng)電子束掃描在鋁陽極上時，所產(chǎn)生的X射線束在樣品上也會作出同步的掃描。X射線束的直徑大小可調(diào)范圍為7.5微米以下到400微米以上。
在光學(xué)顯微鏡，在這透明的聚合物薄膜表面上是沒有發(fā)現(xiàn)任何污染物的。但是如以下圖５中所示，使用二次電子影像時就立即顯示了在聚合物表面上的化污染物的存在。在短短幾分鐘內(nèi)，Quantera II儀器就可以利用一個直徑為20微米的X射線束得到確定的氟碳污染物。
