LYRA 3 GM是一款完全由計算機控制的聚焦離子束場發射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(GIS)， 有高真空和低真空兩種模式，其具有突出的光學性能、清晰的數字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等。

分析潛力

• 高亮度肖特基發射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像

• 可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭

• 獨特的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics?）設計提供了多種工作模式和顯示模式，體現了TESCAN特有可優化電子束光闌的中間鏡設計

• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing?）可模擬和進行束斑優化

• 成像速度快

• 低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可獲得高分辨率（選配）

• In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品的分析

• 全計算機化優中心電動載臺設計優化了樣品操控

• 完美的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）

• 由于使用了強力的渦淪分子泵和無油干式真空泵，因而可以快速簡單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。

• 全自動設置的顯微鏡包括了電子光路設置和合軸功能

• 網絡操作和內置遠程控制/診斷軟件為標配

• 3維電子束技術提供了實時立體圖像

• 在低真空模式下樣品室真空可達到500Pa，用于觀測不導電樣品

• 獨特的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應非常低

• 聚焦離子束鏡筒內有馬達驅動高重復性光闌轉換器

• 聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒

• 在高束流下，選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和卓越的性能

• FIB切割、信號采集、3維重構（斷層攝影術），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化

• 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖片的獲取、存檔、處理和分析功能

  
  

LYRA3配置

• LYRA3 GMH ：裝有馬達驅動全計算機化優中心樣品臺的超大樣品室電鏡，適用于在高真空模式下對導電樣品的分析。

• LYRA3 GMU：可變真空式SEM，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。

配件

• 二次電子探頭 

• 背散射電子探頭

• In-Beam SE

• In-Beam BSE

• 探針電流測量

• 壓差式防碰撞報警裝置

• 可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭

• TOP-SIMS

• 二次離子探頭等....