MYCRO公司提供美國原裝進口勻膠旋涂儀，請您放心選購！

   MYCRO美國原裝進口的旋涂儀，自1985年開始，我們便為提供化工半導體材料清潔涂敷處理等特殊工藝。公司擁有WS系列各類旋轉涂敷系統，目前客戶已遍布全球。勻膠機有很多種稱謂，英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機/旋轉涂層儀、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機旋涂儀

適用旋涂材料的尺寸范圍

WS-650-23,標配為10mm,可選配到3mm或5mm6英寸（150mm）,直徑圓片或5x5英寸（125mm）邊長方片

WS-650-8,標配為10mm,可選配到3mm或5mm8英寸（200mm）,直徑圓片或7x7英寸（175mm）邊長方片

WS-650-15,標配為10mm,可選配到3mm或5mm12英寸（300mm）,直徑圓片或9x9英寸（225mm）邊長方片

WS-650-X,標配為10mm,可選配到3mm或5mm,可根據用戶特殊要求訂制設備

可選擇三種不同的安裝構造

最流行的TableTop型，可自由放置在實驗臺面上

OND型，帶遠程控制器可用于手套箱等封閉環境

IND型，帶遠程控制器可用于WetStation濕法處理環境

高性能馬達驅動

◆ 最強動力加速度：80000RPM/S（空載），30000RPM/S

（負載參考：100mm直徑標準晶圓片，標準真空托盤）；

◆ 雙向旋轉旋轉：正反旋轉速度范圍：1-12000RPM

◆ 無刷直流驅動馬達（超過10年的使用歷史）；

◆ 超過使用壽命，自2007年至今性能良好24小時x7天的連續不間斷運行測試；

◆ 伺服電極分辨率：可達4000p/rev；

◆ 速度精度：0.0RPM；

◆ 可重復精度：0.0RPM;

◆ 獲得NIST認證；

650型系列多功能控制器

◆ 實時更改設定，真正獨特的交互式工藝控制器

◆ 絕非一個簡單有限的PLC控制

◆ 用戶常常為在工藝處理過程中不能自由調節交互處理而苦惱

◆ WS-650卻可以在運行的工藝中，隨時更改設定正向旋轉，反向旋轉，往返旋轉（周期性更改旋轉方向），前后步驟隨意調節（雙向旋轉要求選配Hz型馬達）

SPIN3000分析軟件

◆ 批量存儲，更容易查找曾經用過的工藝數據；

   通過軟件可將實驗數據通過標準的USB通訊接口批量輸入輸出；

◆ 旋涂模擬，節約無謂的實驗材料消耗；

   可預錄入設定的數據（轉速、時長和加速度）進行模擬，獲取最佳的實驗設定值和曲線（工藝步驟）后再進行實驗

◆ 實時記憶，這樣的重復性才可信。

   類似于記錄飛機飛行參數的“黑匣子”，可大大提高實驗的可重復性。