CGS-MT光電氣綜合測試平臺適用于毫米級別材料或器件（傳感器、探測器、晶體管等）的原位測試及綜合特性分析。平臺通過一體化的電學、探針、微腔體、靜態配氣設計，可提供精準的電學檢測、靈活的探針連接、精準的溫度調節、便捷的氣氛控制；集成雙源表測試系統，支持兩線或四線測試，支持雙通道測試；平臺包含的原位高溫臺可與拉曼光譜儀或顯微鏡聯用，在電學測試的同時進行光譜或顯微的原位分析；平臺的微小腔體結構特別適合連接濕度可控的氣液配氣系統，在實現腔室內的氣氛濃度及濕度的快速更替與平衡的同時，用于氣敏、濕敏等性能的在線檢測；平臺支持搭配LED光源或者外接光路，進行光敏、光電、光敏氣敏等相關研究；平臺支持連接真空泵，用于真空或不同氣壓下的性能測試。

產品特色

01）定制化的傳感器連接方式和數量

02）微型氣室，有利于響應恢復速度的準確測量

03）配置雙源表系統，支持雙通道測試

04）便于觀察樣品的觀察窗，材質可選配，支持與光譜儀或顯微鏡聯用

05）測試系統可設置溫度、濕度等參數，可記錄環境信息（溫度、濕度、壓力等，可定制）

06）支持氣體傳感器測量和標定，溫度傳感器測量和標定

07）平臺控溫，敏感材料或元件無需制作加熱電極

08）高屏蔽性能，可連接各種分析系統及源表，支持傳感器、晶體管、探測器等測試

主要技術指標

1、電學分析系統

     01）雙源表配置，支持雙通道測試，四線或兩線測量

     02）電流范圍：100 pA~200 mA；電阻測量范圍：1Ω~10GΩ；電壓范圍：±200 mV~±10 V

     03）電學特性轉換為傳感器信號，氣體傳感器測量和標定，溫度傳感器測量和標定

     04）測試模式： I-t，R-t，V-t，I-V，V-I 等

     05）SMA接口，SMA轉BNC測試線，控溫的同時可進行電學信號測試

     06）試用范圍：材料研究，半導體器件分析（傳感器、晶體管、二極管、功率半導體、LED等），電子電路測量等應用

2、原位池主要參數

     01）可用于連接電學測量設備和拉曼光譜或者顯微鏡等設備以進行電學信號與光譜表征的原位同步測量

     02）控溫范圍：室溫~500℃，含水冷快速接頭，上下一體水冷

     03）兩路反應氣接口和一路真空接口，可通過卡套、快插與配氣系統及真空泵相連接

     04）探針座及夾具：4套

     05）BNC接頭：4個；支持雙通道測試

     06）腔室體積：約100mL

     07）石英窗口，直徑約30mm

     08）腔室體積：約150mm*150mm*40mm

 3、靜態配氣模塊

     01）體積約1L，與小腔體配合使用，支持靜態配氣

     02）配置液體蒸發器，溫度：室溫~250oC

     03）內置風扇

4、LED光激發模塊

     01）配置準直LED光源，波長365-370nm，可選配波長440-450nm、520-530nm、660nm等；其他波長可定制

     02）配置LED驅動器支持最大驅動電流1200mA

     03）設計與光電氣綜合測試平臺聯用的支架

5、可擴展功能

    01）與光譜儀（如紅外、拉曼、紫外），將光譜分析與電學測試結合

    02）與顯微鏡聯用，將顯微與電學測試結合

    03）腔室外定制光路，定制光源的同步調控

    04）與真空泵聯用，進行低壓測試

    05）與濕度控制的配氣系統聯用，用于腔室氣氛和濕度控制；選配環境監測腔，支持環境溫濕度實時監測