URE-2000/35L紫外光刻機

       曝光面積：4英寸 ，非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動化程度高）和高校教學科研（可靠性好，演示方便） 。

1．技術特征

——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動化程度高）和高校教學科研（可靠性好，演示方便）

        采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準間隙和消除曝光間隙，采用 350W 進口（德國）直流汞燈，可調節光的能量密度。設備外形美觀精制，性能非常可靠，自動化程度很高，操作十分方便。

2．技術參數

◇ 曝光面積：4 英寸

◇ 曝光波長：365nm

◇ 分辨力：0.8?m ? 對準精度：?0. 8?m ? 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

◇ 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

◇ 樣片尺寸：直徑 ?10mm－－ ?100mm(各種不規則片)

◇ 厚度 0.1mm－－5mm(可擴展為 15mm)

◇ 曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

◇ 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

◇ 照明不均勻性： 3%（?100mm 范圍）

◇ 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學最大倍數 400 倍，

◇ 光學+電子放大 800 倍

◇ 物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍

◇ 目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍   調平接觸壓力通過傳感器保證重復

◇ 數字設定對準間隙和曝光間隙

◇ 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

◇ 掩模相對于樣片運動行程：

   X:  5mm; Y:  5mm; : 6o

◇ 最大焦厚：400m（SU8 膠，用戶提供檢測條件）

◇ 光源平行性：3.5 o

◇ 曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 o

◇ 單層曝光一鍵完成

◇ 采用球氣浮自動找平

◇ 汞燈功率：350W（直流，進口汞燈）

3．外形尺寸：

1200mm（長）×900mm(寬) ×1750mm（高）

4．配置

（1）曝光頭

◇ 冷光橢球鏡

◇ 350W 進口直流高壓汞燈(進口)   XYZ 汞燈調節臺

◇ 冷卻風扇

◇ 光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡 1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準工件臺

◇ 掩模樣片整體運動臺

◇ 掩模樣片相對運動臺

◇ 轉動臺

◇ 樣片調平機構,自動完成

◇ 基片抽拉式上下機構

◇ 樣片調焦機構，電機自動調

◇ 承片臺 4 個：15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸（可按用戶要求增減）

◇ 掩模夾 4 個：3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用戶要求增減）

（3）對準顯微鏡

◇ 光源（配備品 2 只）、 電源

◇ 雙目雙視場對準顯微鏡主體

◇ 目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）

◇ 物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）

◇ CCD 對準系統，21 寸液晶顯示器

（4）電控系統

◇ 汞燈觸發電源(350W 直流汞燈) ? 單片機控制系統

◇ 控制柜桌

（5）氣動系統

◇ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

◇ 電磁閥驅動

◇ 氣動儀表

（6）其他附件

◇ 真空泵一臺

◇ 空壓機一臺

◇ 管道

（7）技術資料

◇ 使用維修說明書

◇ 顯微鏡使用說明書