真空腔體及其配套

       我們可以按照客戶的要求或圖紙制造高品質的真空腔體。我們的工程師運用CAD技術設計真空系統。在加工之前我們會將圖紙得到客戶的確認。

       我們有能力制造各種規格的真空腔體如：基板式真空腔、球形真空腔、鐘形真空腔、管狀真空腔、也可按照客戶要求制造真空腔。真空度達到10^-6 torr to 10^-11 torr。

       我們的制造工程師具有熟練的加工、焊接高真空和超高真空腔體用材料的能力，如304, 304L, 316, 316L, 316LN, 410 ， 416，無氧銅，鈦，鋁，鉬，鉬合金。

       嚴格的品質管理制度保證產品從原料到成品出庫都在監控之下。

       真空腔的制造實行嚴格的質量保證程序和制造工藝控制程序。原料采購，制造工藝，焊接方法，表面處理，氦泄漏檢查，最后的成品尺寸測量，所有的制造工序都在監控之下。每一件產品在交貨之前都經過全面的檢查。

       我們的工程部、生產部及組裝測試部，可根據您的特殊需求，專業訂制真空室及其附設的子系統。我們為HV或UHV應用所設計及制造的各種真空腔室，包括為R&D設計的小型球型真空室，和工業量產鍍膜設備所需的長達14英尺以上的大型盒型真空室，可滿足各種需求。另外，任何客戶訂制的真空室都可通過工程設計，與其他適當的真空組件組合，成為一套功能完整的系統零部件設備。

真空室結構與材質配制 (Construction & Materials)
       多種結構型態：球型、盒狀、圓柱型及鐘罩狀，可由各種不銹鋼材質 (304, 304L, 316, 316L) 或鋁材質所制。所有材質是經過特別選擇的，可達到低磁滲透性的要求。

加工能力 (Machining Capabilities)
       我們使用業界知名公司(例如Mazak和Kuraki等公司)的最尖端的CNC加工中心。所有的加工中心都使用有利于真空的無硫冷卻劑，以降低腔室表面放氣。 通過自動的機械臂夾具及組件接口的激光校準，來確保極小的產品公差。通常可達到的表面光潔度等級有#8鏡面拋光、#4拉絨拋光及電解拋光等。

檢測及清潔處理 (Inspection & Cleaning)
       我們一般使用精密的CMM檢測臂去檢查加工完畢的真空室的加工公差，而當使用我們的六軸CNC加工中心來制造大型的產品時，則采用在線檢測探針進行現場檢測。所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴格的觀察檢驗及氦檢漏測試，以達到真空完整性。我們有一套嚴格的真空腔室清洗設備及程序，清洗完成后，我們用高溫爐將其烘干；另外，我們也可以根據客戶的要求，進行特定的清洗程序。

真空室的配制系統 (Chamber Sub-Assemblies)
       為配合客戶特珠的應用需求，我們可以為客戶訂制的真空室配置所需的其他真空部件，以構成一套完整的真空配制系統。
 
通常為真空室配備的組件包括：
       支撐的框架是由碳素鋼或擠壓鋁所制。多種不同結構的機柜及開放隔間可供選擇。
       泵組合任意高真空泵(渦輪分子泵、低溫泵或油擴散泵)，可同時配備相應的初級泵。
       閥門及真空計組合手動控制及全自動電腦控制，兩種組合可選。
       真空鎖（Load Lock）組合即樣品預真空室組合，包括真空鎖腔室、樣品傳送裝置、渦輪分子泵及進氣閥門等。

       另外，我們也為一些小型實驗室及大學等研發用戶提供標準的經濟的鐘罩型真空室子系統。這種已核可的零部件包括：玻璃或金屬結構的鐘罩腔室、腔室基座、連接各種穿通密封件（Feedthrough）用的環型腔室、機柜式支撐框架（可配備鐘罩室升降的動力裝置），及配套的真空泵組合。