產品簡介：

       高精度，快響應型

       橡膠密封、模擬電路的MFC

       采用DB15型電插頭，國際標準機械接頭

       國際兼容

用途：

       用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

詳細參數：

       產品型號：D07-19C

       產品類型：高精度型,快響應型

       流量量程：5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm

       產品精度：±1％F.S.(20slm ±2％F.S.)

       重復精度：±0.2% FS

       線性：±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.)

       響應時間：≤1.5sec

       工作溫度范圍：(5~45)°C

       耐壓：3MPa

       密封材料：氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

       輸入輸出信號：(0~5)VDC

       電源：±15V

       閥類型：- 無 -

       溫度系數：Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃

       零點飄移指標：- 無 -

       電氣連接：D sub 15 pins Male

       工作壓差范圍：(0.1～0.5) MPa

       漏率： 1×10-9atm?cc / sec He（1×10-10 Pa?m3 / sec He）

       標準接頭形式：雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1  軟管接頭

       表面化學成分：- 無 -

       表面粗糙度：- 無 -

       抗電磁干擾：CE

       重量：1.2Kg