商品名稱:XP-703DⅢ 半導體材料氣體檢漏儀
產品描述:半導體材料氣體檢測
01.產品特點
● 小巧·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● 最適合氫氣相關設備的保安
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排氣模式]功能
● 保護等級約為IP22(JIS C 0920)*安裝皮套時
02.產品用途
● 半導體工廠/石油化學工廠等
● 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.產品參數
型號 | XP-703Dm |
檢測對象氣體 | H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
檢測原理 | 熱線型半導體 |
采樣方式 | 自動吸引式 |
可檢測泄漏量 | H2 : 5.07x10-7. AsH3 : 2.53x10-7. B2H6、1.01 x10-7SiH4x 2.53x10-7. PH3: 1.52x10-7 |
可檢測濃度 | H2: 1.0ppm、AsH3 : 0.5ppm、B2H6 : 0.2ppm、SiH4 : 0.5ppm、PH3 : 0.3ppm |
反應時間 | 10秒以內 |
顯示方式 | 液晶數字(手動背景燈) |
電源(額定) | 5號堿性干電池(LR6) 2節 |
電池使用時間※1 | 約12小時(5號堿性干電池、25°C時) |
保護等級※2 | 相當于IP22※3 |
使用壓力范圍 | 大氣壓(800~1100kpa) |
使用溫濕度范圍 | 0~40°C、85%RH以下(無結露現象) |
外形尺寸 | W38xH130xD32mm (突出部分除外) |
重量 | 約190g (包括電池、皮套) |
※1.電池使用時間因環境條件、使用條件、保存日期、電池生產廠家商等而異;
※2.收納在皮套里的狀態;
※3.所謂相當于IP22是指:對于手指接近設備內部的危險位置的保護結構(IP2X)、以及外部對垂直15度以內傾斜時,在4個位置各2.5分(合計10分)垂直落下的水滴不會給機器內部造成有害影響的結構。
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