概述
nEXT300D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對N2的抽速為300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù)，上軸承為永久性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使其更加有效地實(shí)現(xiàn)分子拖曳行程，最終提高抽速和壓縮比，同時(shí)真正實(shí)現(xiàn)了用戶自行維護(hù)。它們采用24V到48V直流無傳感器電機(jī)，內(nèi)置驅(qū)動，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種最大預(yù)設(shè)功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達(dá)到滿轉(zhuǎn)速的加速時(shí)間較長。
基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。
性能特點(diǎn)
◆ 最新的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)卓越的抽速和壓縮比
◆ 維護(hù)簡便，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)完成維護(hù)，無需復(fù)雜的工具或拆卸
◆ 設(shè)計(jì)緊湊，性能卓越，可以實(shí)現(xiàn)高效系統(tǒng)化
◆ 與Edwards TIC渦輪儀表控制器兼容，可加3個(gè)真空規(guī)，而無需額外控制器
◆ 符合RoHS，并通過CSA/UL認(rèn)可
技術(shù)指標(biāo)
| 入口法蘭 | DN100ISO-K，DN100CF |
| 出口法蘭 | KF25 |
| 抽 | N2 | 300l/s |
| 速 | He | 340l/s |
| H2 | 280l/s |
| 壓 | N2 | >1×1011 |
| 縮 | He | 1×106 |
| 比 | H2 | 5×104 |
| 極限真空（ISO/CF，RV前級泵） | <6×10-8/<5×10-10 mbar |
| 推薦前級泵* | RV12/nXDS10i |
| 放氣口 | 1/8英寸BSP母螺紋 |
| 吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 |
| 最大連續(xù)入口流量（氮?dú)猓?sup>? |
| 水冷（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C） | 95sccm |
| 空冷（環(huán)境溫度35°C） | 115sccm |
| 泵轉(zhuǎn)速 |
| 標(biāo)稱轉(zhuǎn)速 | 60000rpm |
| 待機(jī)轉(zhuǎn)速 | 33000~60000rpm可調(diào)（缺省42000 rpm） |
| 功率范圍 | 50~200W可調(diào)（缺省160W） |
| 90%轉(zhuǎn)速啟動時(shí)間 | 145s? |
| 模擬輸出 | 泵轉(zhuǎn)速、功耗、泵溫度、控制溫度 |
| 冷卻方式# | 空冷/水冷 |
| 空冷環(huán)境溫度 | 5~35°C |
| 最小水冷流速 | 15l/ h |
| （15°C的水） |
| 水溫范圍 | 10~20°C |
| 入口法蘭最高溫度 | 80°C |
| 工作姿態(tài) | 垂直、水平（±2°） |
| 噪聲（1m處） | <45dB(A) |
| 最大耐受磁場 | 5mT |
| 推薦控制器 | TIC200渦輪儀表控制器 |
| 穩(wěn)態(tài)功耗 | 20W |
