1、產(chǎn)品簡介

    SP100噴膠機是一種滿足半導(dǎo)體TSV、MEME、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業(yè)設(shè)備，是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術(shù)均勻噴涂在一定溫度的物件表面，多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設(shè)備。

    SP100采用不銹鋼機身，桌面臺式設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，七寸全彩觸屏界面，高精度電缸控制，整體設(shè)計布局合理，簡單易用。

2、產(chǎn)品主要包括如下幾個系統(tǒng)

◆熱盤加熱及旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)；

◆XY雙電缸運動控制系統(tǒng)；

◆膠液微流量平流傳輸系統(tǒng)；

◆二流體霧化噴涂系統(tǒng)；

◆PLC控制、觸屏操作系統(tǒng)；

◆排廢、抽氣等氣流控制系統(tǒng)。

3、性能參數(shù)

◆熱盤溫控范圍：室溫-150℃；

◆溫度分辨率：0.1℃；

◆溫度均勻性：＜±1%（工作范圍）

◆膠液流速范圍：1-20ml/min；

◆電缸移動速度：1-200mm/s；

◆電缸有效行程：300mm*300mm；

◆二流體霧化粒徑：＜50um；

◆外形尺寸：928mm(W)*800mm(D)*510mm(H)。