技術特點                                            

1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用、防腐容易清潔。

2.儀器實現了手動，自動兩種模式任意切換的工作方式，方便用戶實驗

3.儀器實現了程序化設計，預先編輯好程序，儀器可以自動完成實驗

4.無需任何耗材使用成本低，無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可

5.電容式等離子激發，處理效果均勻，激發電極板內置樣品倉內頂部懸掛

6.密閉真空環境下完成實驗避免二次污染

7.40Khz射頻電源,自主研發質量穩定可靠，具有自動保護功能。

8.靈活的參數設置和修改功能，可適應多種處理工藝。

9.采用皮拉尼真空技術，實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度，具有1Pa的真空分辨率，能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀，實現對氣體流量和真空度的準確控制和監測。

10. LED+金屬按鍵控制方式，操作方便穩定可靠。

技術規格參數

• 不銹鋼/石英艙體：Φ150 mm×L255mm

• 工作氣路：兩路，可以選配MFC控制

• 射頻頻率：40KHz

• 射頻功率：0-200W/300W可選，可調

• 控制系統：按鈕+單排LED顯示，實時顯示和檢測艙內真空度值

• 時間范圍：0—99分59秒連續可調

• 工作壓力：樣品倉內200Pa以內根據進氣量自動調節

• 工作氣體：空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可

• 進氣壓力：空氣：常壓     連接氣體鋼瓶：0.1-0.3Mpa

• 工作模式：手動模式和程序化自動模式

• 真空泵抽速：1升到5升每秒

• 輸入電源：~220V／50Hz

• 整機尺寸（D*W*H）：552X590X295mm

• 重量（約）：24Kg