真空腔體及其配套
我們可以按照客戶的要求或圖紙制造高品質(zhì)的真空腔體。我們的工程師運(yùn)用CAD技術(shù)設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)。在加工之前我們會(huì)將圖紙得到客戶的確認(rèn)。
我們有能力制造各種規(guī)格的真空腔體如：基板式真空腔、球形真空腔、鐘形真空腔、管狀真空腔、也可按照客戶要求制造真空腔。真空度達(dá)到10-6 torr to 10-11 torr。
我們的制造工程師具有熟練的加工、焊接高真空和超高真空腔體用材料的能力，如304, 304L, 316, 316L, 316LN, 410 ， 416，無氧銅，鈦，鋁，鉬，鉬合金。
嚴(yán)格的品質(zhì)管理制度保證產(chǎn)品從原料到成品出庫都在監(jiān)控之下。
真空腔的制造實(shí)行嚴(yán)格的質(zhì)量保證程序和制造工藝控制程序。原料采購，制造工藝，焊接方法，表面處理，氦泄漏檢查，最后的成品尺寸測(cè)量，所有的制造工序都在監(jiān)控之下。每一件產(chǎn)品在交貨之前都經(jīng)過全面的檢查。
我們的工程部、生產(chǎn)部及組裝測(cè)試部，可根據(jù)您的特殊需求，專業(yè)訂制真空室及其附設(shè)的子系統(tǒng)。我們?yōu)镠V或UHV應(yīng)用所設(shè)計(jì)及制造的各種真空腔室，包括為R&D設(shè)計(jì)的小型球型真空室，和工業(yè)量產(chǎn)鍍膜設(shè)備所需的長(zhǎng)達(dá)14英尺以上的大型盒型真空室，可滿足各種需求。另外，任何客戶訂制的真空室都可通過工程設(shè)計(jì)，與其他適當(dāng)?shù)恼婵战M件組合，成為一套功能完整的系統(tǒng)零部件設(shè)備。
真空室結(jié)構(gòu)與材質(zhì)配制 (Construction & Materials)
多種結(jié)構(gòu)型態(tài)：球型、盒狀、圓柱型及鐘罩狀，可由各種不銹鋼材質(zhì) (304, 304L, 316, 316L) 或鋁材質(zhì)所制。所有材質(zhì)是經(jīng)過特別選擇的，可達(dá)到低磁滲透性的要求。
加工能力 (Machining Capabilities)
我們使用業(yè)界知名公司(例如Mazak和Kuraki等公司)的最尖端的CNC加工中心。所有的加工中心都使用有利于真空的無硫冷卻劑，以降低腔室表面放氣。 通過自動(dòng)的機(jī)械臂夾具及組件接口的激光校準(zhǔn)，來確保極小的產(chǎn)品公差。通常可達(dá)到的表面光潔度等級(jí)有#8鏡面拋光、#4拉絨拋光及電解拋光等。
檢測(cè)及清潔處理 (Inspection & Cleaning)
我們一般使用精密的CMM檢測(cè)臂去檢查加工完畢的真空室的加工公差，而當(dāng)使用我們的六軸CNC加工中心來制造大型的產(chǎn)品時(shí)，則采用在線檢測(cè)探針進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)。所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴(yán)格的觀察檢驗(yàn)及氦檢漏測(cè)試，以達(dá)到真空完整性。我們有一套嚴(yán)格的真空腔室清洗設(shè)備及程序，清洗完成后，我們用高溫爐將其烘干；另外，我們也可以根據(jù)客戶的要求，進(jìn)行特定的清洗程序。
真空室的配制系統(tǒng) (Chamber Sub-Assemblies)
為配合客戶特珠的應(yīng)用需求，我們可以為客戶訂制的真空室配置所需的其他真空部件，以構(gòu)成一套完整的真空配制系統(tǒng)。
通常為真空室配備的組件包括：
支撐的框架是由碳素鋼或擠壓鋁所制。多種不同結(jié)構(gòu)的機(jī)柜及開放隔間可供選擇。
泵組合任意高真空泵(渦輪分子泵、低溫泵或油擴(kuò)散泵)，可同時(shí)配備相應(yīng)的初級(jí)泵。
閥門及真空計(jì)組合手動(dòng)控制及全自動(dòng)電腦控制，兩種組合可選。
真空鎖（Load Lock）組合即樣品預(yù)真空室組合，包括真空鎖腔室、樣品傳送裝置、渦輪分子泵及進(jìn)氣閥門等。
另外，我們也為一些小型實(shí)驗(yàn)室及大學(xué)等研發(fā)用戶提供標(biāo)準(zhǔn)的經(jīng)濟(jì)的鐘罩型真空室子系統(tǒng)。這種已核可的零部件包括：玻璃或金屬結(jié)構(gòu)的鐘罩腔室、腔室基座、連接各種穿通密封件（Feedthrough）用的環(huán)型腔室、機(jī)柜式支撐框架（可配備鐘罩室升降的動(dòng)力裝置），及配套的真空泵組合。
